影响设备安装精度的因素有：设备基础、垫铁埋设、设备灌浆、地脚螺栓、设备制造、测量误差、环境因素等。

(一)设备基础

设备基础对安装精度的影响主要是强度、沉降和抗振性能。

(二)垫铁埋设

垫铁埋设对安装精度的影响主要是承载面积和接触情况。

(三)设备灌浆

设备灌浆对安装精度的影响主要是强度和密实度。

(四)地脚螺栓

地脚螺栓对安装精度的影响主要是紧固力和垂直度。

(五)设备制造

设备制造对安装精度的影响主要是加工精度和装配精度。

(六)测量误差

测量误差对安装精度的影响主要仪器精度和基准精度。

测量过程包括测量对象、计量单位、测量方法和测量精度四个要素

(1)形状误差是指被测实际要素对其理想要素的变动量。主要形状误差有直线度、平面度、圆度、圆柱度等。

(2)位置误差是指关联实际要素的位置对基准的变动全量。主要位置误差有平行度、垂直度、倾斜度、同轴度、对称度等。

(七)环境因素

环境因素对安装精度的影响主要是温度变形、设备温度变形和恶劣环境场所。